晶圆-天生赢家 一触即发

行业应用

industry application
晶圆
兼容4~12英寸的自动化基材传输系统
清洁环境沉积薄膜点缺陷少
沉积工艺稳定,薄膜具有高重复性
工艺过程中实时基于基材直接监控

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