蒸发真空镀膜机的结构要求和制造要求有哪些?-天生赢家 一触即发

      真空镀膜机各式各样的，应用行业不一样，型号不同，结构要求和制造要求也各不相同，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下蒸发镀膜机的结构要求和制造要求：

结构要求：

       1、设备的结构应布局合理，造型美观，操作方便，便于维修。
       2、设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合gb/t 6070和jb/t 1090～1092的规定。
       3、在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管，分别测量各部位的压力。
       4、如果设备的真空机组以扩散泵为主泵，应在扩散泵的进气口安装挡板或冷阱。
       5、镀膜室应有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗上应加装防射线镜片。
       6、带工件烘烤装置的设备，应有测温电极或测温装置。
       7、工件架旋转机构的转速应符合产品设计要求。
       8、装有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备，在产品设计要求规定的参数范围内应能正常连续稳定工作30分钟以上。
       9、采用钨丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸镀材料正常蒸发，且在蒸发过程中，加热器的几何形状应不影响正常蒸发。
       10、设备的蒸发源工作状况应稳定，易于调节控制。对各类蒸发源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源、离子束蒸发源、激光蒸发源、感应式蒸发源等)的技术要求应按相应的产品标准作具体规定。
       11、设备采用低电压、大电流电阻蒸发源时，每个蒸发源加热器应在电压4v～20v，电流50a～180a状态下正常工作。
 
 
制造要求：
       1、设备的零部件机械加工质量及焊接件质量、装配质量应符合制造厂技术文件的规定
       2、设备镀膜室内表面及各密封表面的粗糙度ra值应不大于1.6um，且对工作时处于真空状态的各表面 应进行有效的真空清洁处理并予以干燥。各转动件、升降机构等动作应灵活，不得有卡、滞、松、抖及异常声响等现象，需用润滑脂的动密封处应充入适量真空油脂。
       3、设备主要零部件的材料应符合相应的材料标准的规定。
       4、设备配套的电气装置的质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和操作时安全可靠。
       5、设备的外观质量应做到没有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件结合面的边沿应整齐匀称，不得有明显错位。金属零件的镀层应牢固，无脱落及生锈等现象，所有坚固件应有防锈层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固、无脱落、起皮等现象。
       6、蒸发真空镀膜机中外购的配套产品，应符合相应的产品标准，并应有质量合格证。设备中自制的配套产品，经制造厂检验部门检验合格后方可使用。
       7、蒸发真空镀膜机中各类蒸发源、辅助离子源及离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、膜厚监控等装置。应逐项调试和联合调试，其性能均应达到设计要求，运行可靠。工件加热到额定温度，真空室外表面温度不得高于45度，设备运动部分应能正常工作。