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采购真空镀膜机,要考虑哪些方面的问题?
2020-07-14
2006
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有些商家采购镀膜机时，总是会碰到各种各样的问题，无从下手，不知道哪款、哪家真空镀膜机适合自己，毕竟真空镀膜机采购费用不是个小数目，少则几十万，大则上百万，上千万。因此，商家采购真空镀膜机时还是非常的谨慎和理性。那么商家在采购真空镀膜机的时候，应该要考虑哪些问题呢，小面汇成真空小编为大家详细列举出来。
（1）根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
（2）真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
（3）夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。
（4）根据工艺要求选择镀制方式及形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）磁控源（同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材质及尺寸多弧源（ф60，ф80直径靶材，气动、电动的引弧等），真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器，如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，透过率计等。
（5）炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
（6）完善的报警系统，对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。
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