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蒸发卷绕式真空镀膜机机构设计,我们需要考虑哪几个问题
2020-07-26
2004
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提高卷绕速度的问题,卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎,国内早期卷绕镀膜机速度只有10m/min,现在也只有80m/min～120m/min,在国外日本的ew系列产品中
第二：带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要，因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定，才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜（如电容器膜）尤为重要。
第三：带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高，带状基材在卷绕镀膜过程中，起褶和发生偏斜，严重时会造成基材的断裂，使生产中断，既影响生产效率，又浪费材料。因此，在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。
卷绕镀膜机真空抽气系统分上室下室两组，下室为蒸镀室，要求真空度高，主泵多为油扩散泵。上室为基材卷绕室，要求真空度较低，为罗茨泵机组或扩散泵一罗茨泵一机械泵组。一般蒸镀室要达到的真空度为1x10^-3pa—2×10^-3pa，而工作压力为1×10^-2pa—2×10^-2pa，而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。有时卷绕镀膜机以增扩泵（油扩散泵的一种）为主泵，它的极限压力虽然不及油扩散泵，但其抽速范围向高压方向延伸一个数量级，非常适宜此类蒸发的镀膜过程。
目前国内卷绕镀膜机蒸发源多采用坩埚蒸发，其材质有氮化硼、石墨、钼等。氮化硼由于电学及热学性能好，使用寿命长，因而较为普遍地应用于卷绕镀膜机中。每个坩埚的加热功率为6kw—8kw，加热电压为10v—12v。坩埚数量由基材幅宽来确定。辐宽愈宽坩埚数量愈多。幅宽500mm时4只坩埚，800mm时7只坩埚，1300mm时12只坩埚。坩埚分布是不均匀的，中间部分间距大些，在基材边缘处间距小，有的最外侧坩埚与基材幅宽边缘重合。
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