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真空镀膜设备操作步骤是怎么样的
2020-07-27
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新人刚进入厂房的时候，前提都是要通过系列专业性的培训，真空镀膜设备操作流程，真空镀膜设备捡漏问题，以及维修问题，安全隐患都要通过培训，这样能够崔进新镀膜工程师能节省时候，能快速上手操作机器，今天汇成真空为大家介绍一下，真空镀膜设备的操作流程是怎么样的，希望能帮到大家：
第一：首先为大家介绍一下电控柜的操作，每款设备操作都是有流程的，任何一步都不能遗漏。（1）首先开水泵、气源。（2）接着开总电源。（3）开维持泵、真空计电源，真空计档位置v1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。（4）开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到v2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。（5）观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。
第二：def-6b电子枪电源柜的操作，（1）打开总电源。（2）同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源：按电子枪控制ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 （3）开高压，高压会达到10kv以上，调节束流可到200ma左右，帘栅为20v/100ma，灯丝电流1.2a，偏转电流在1~1.7之间摆动。
第三：关机顺序。（1)关高真空表头、关分子泵。（2）待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。（3）到50以下时，再关维持泵。
以上是真空镀膜设备的操作步骤，新人准备上手操作机器的时候，一定要把设备的操作流程记牢记，切勿遗漏任何环节，后面操作时间长了，自己就顺手了，慢慢也就成为专业的操作镀膜设备的工程师。
第二：def-6b电子枪电源柜的操作，（1）打开总电源。（2）同时开电子枪控制ⅰ和电子枪控制ⅱ电源：按电子枪控制ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 （3）开高压，高压会达到10kv以上，调节束流可到200ma左右，帘栅为20v/100ma，灯丝电流1.2a，偏转电流在1~1.7之间摆动。
第三：关机顺序。（1)关高真空表头、关分子泵。（2）待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。（3）到50以下时，再关维持泵。
以上是真空镀膜设备的操作步骤，新人准备上手操作机器的时候，一定要把设备的操作流程记牢记，切勿遗漏任何环节，后面操作时间长了，自己就顺手了，慢慢也就成为专业的操作镀膜设备的工程师。
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