光学镀膜机组成结构,你是否懂?-天生赢家 一触即发

      大家都知道光学镀膜机使用很广泛，能够镀出各式各样的靓丽的膜层，那么哪些各式各样膜层机器是在怎么镀出来呢，它的流程是怎样的，包括机器的结构大概是怎么样，这些膜是怎么上去了。我想可能大多数人还是不知道其中的原因。今天汇成小编就给大家大概的讲解一下光学镀膜机的整个结构情况，帮助大家对镀膜机有一个新的认识。

       真空主体是真空腔，根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。它的系统是辅助抽气系统，此排气系统采用“扩散泵 机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成 机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。它是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真     空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1pa的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。

       真空计：真空计是光学镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为绝对真空计和相对真空计，绝对真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子枪蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。电子束蒸发的最大优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一枪多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。成膜控制系统 ，薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定（极值）值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定（极值）监控和水晶振荡监控三种。目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。
       光学镀膜机是集多门学科的设备，它集成了当今工业最先进的机电技术，控制技术、电气自动化、it技术、制冷技术，微电路集成系统、高压控制系统、机械技术、加工技术、光电技术、光学技术、气动控制技术、光电传感技术、通讯技术、真空技术、薄膜光学与镀膜技术等等。镀膜机已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞弹、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等，光学镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。