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真空镀膜设备组成结构是怎样的?
2020-08-10
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真空镀膜设备有很多种类，可以按照型号来分，也可以按照行业来分。按照行业来分的话，可分为：光学真空镀膜设备，装饰真空镀膜设备，功能性涂层镀膜设备，半导体真空镀膜设备，汽车配件真空镀膜设备等等。应用行业不一样，型号不一样，大小也不一样，包括镀膜技术多多少少也有些区别。那么一般真空镀膜设备大概由那些结构组成的呢？
真空镀膜设备是现在产品在真空条件下进行镀膜使用最多的一种设备，一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，每个系统可以完成不同的功能，从而实现最终的高品质镀膜，其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。
真空镀膜设备的主体是真空腔，真空腔大小是由加工产品所决定，它的大小能定制，腔体一般是用不锈钢材料制作，要求结实耐用不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。
抽真空系统采用机械泵 扩散泵 罗茨泵组成，抽真空系统是镀膜设备真空系统的一个重要组成部分，真空度的高低直接影响产品的镀膜效果，真空度由真空测试系统取得数据。
成膜控制系统能采用不同方式，比如固定镀制时间、目测、极致监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺，常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强，膜层的纯度高，可以同事溅射多种不同成分的材料，离子蒸发镀膜可以提高膜层的致密性和结合力及均匀性。
真空镀膜设备镀膜原理一般是根据实际产品工艺需求定制，造价基本上是在几十万到上千万，采用人工操作方式的机器设备相对较便宜，一般在百万左右，技术含量高能实现完全自动化机器设备造价高几倍，国内较知名的企业单位能实现完全自动化的机器设备造价会高几倍，国内知名企业能达到半自动化作业，少数技术较强的能实现完全自动化。
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