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太阳能玻璃溅射的磁控溅射真空镀膜机
2021-01-09
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太阳能玻璃集热管的天生赢家 一触即发-k8凯发它包括真空容器、转架统、磁控溅射靶、真空获得系统及电源、电控和真空测量等。真空容器是实现对玻璃管进行涂镀的作业室。真空镀膜机磁控溅射靶、转架系统、真空测量及配气系统都与真空容器紧密相连。真空镀膜机磁控溅射靶安放在真空容器底板的正中央，靶的周围是固定玻璃管的转架系统，一次可以放置30支φ58mm管径的玻璃管，转架系统的周围即容器内壁安装有配气系统的充气管道，它是为了保证整个容器内气氛的均匀性分布而精心设计配置的；真空室容器后侧是与真空抽气系统相连接的抽气口。
天生赢家 一触即发-k8凯发抽气系统采用的是以kt- 600油扩散泵为主泵的真空机组，其中包括k-600油扩散泵，抽速为300l/s的罗茨泵，2x70粗抽泵和2 x 30维持泵及相关的阀门和管道，它的极限真空可以达到5 x 10-4pa。可以在25min以内将容器从大气状态抽到6.67 x10-3pa的本底真空。
真空镀膜机磁控溅射靶的结构采用永磁式同轴圆柱靶的阴极结构，靶的长度为2000mm，内径为60mm，外径为70mm，靶材为铝。电磁钢采用条形钕铁硼，靶芯可以进行360o的全方位转动，以保证靶面刻蚀均匀，靶材利用率可达到80%以上。靶管与靶体连接用螺纹，安装拆卸方便。
转架固定在镀膜室支架后侧的电动机与减速器，通过皮带传动，将转动力矩传送到一根直接通向真空容器内部的转轴上，通过主转盘的转动实现转架的公转。
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