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真空镀膜机大功率脉冲磁控溅射镀膜
2021-01-30
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天生赢家 一触即发-k8凯发大功率脉冲磁控溅射技术是一种才开始推广极有前景的真空镀膜技术。（1999年才开始出现）在美国叫high power pulse magnetron sputtering (hppms)，而在欧洲叫high power impulse magnetron sputtering (hpims)。听起来似乎耳熟能详，是磁控溅射的一种，但其中所含很重要的特点：离子化磁控溅射过程。
磁控溅射无大颗粒的特点，但溅射材料主要以中性原子/原子团为主，溅射机理是动能。使溅射材料离子化是磁控溅射主攻方向。加离子源只是改善，而且设备增加，污染元件也增加。非平衡磁控溅射可以离子化部分材料，但离化率只有10%~20%。而且磁路一旦非平衡，其发散电子束有烧工件表面的缺点。
天生赢家 一触即发-k8凯发大功率脉冲磁控溅射技术的脉冲峰值功率是普通磁控溅射的100倍，在1000~3000w/cm2范围。对于大型磁控靶，可产生兆瓦级溅射功率。但是由于作用时间在100~150微秒，其平均功率与普通磁控溅射相当。这样就不会增加冷却要求。这里优点出来了，在1000~3000w/cm2功率密度下，溅射材料离子化率极高。但这个高度离子化的束流不含大颗粒。一般溅射材料能级只有5~10电子伏特，而大功率脉冲磁控溅射材料能级最大可达达100电子伏特。大功率脉冲磁控溅射的最大优点是可以镀高致密度的膜而不会使基体表面温度显著增高。
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