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电子束蒸发镀膜机的组成结构介绍
2021-09-02
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电子束蒸发镀膜机多用于光学真空镀膜技术领域，如我们手机屏幕，手机壳，摄像头，眼镜片，数码产品屏幕等等，都有用到电子束蒸发镀膜机，光学镀膜技术已经深入到我们生活中，形影不离，那么电子束蒸发镀膜机结构是怎样的呢，下面汇成真空镀膜机详细和大家介绍一下，希望能帮到大家：
电子束蒸发镀膜机中的真空气路在真空的气路中有两个机泵，分别是前级机械泵和高真空低温泵，其中的低温泵作用主要是通过在非常低的温度来，依据冷伞吸附的原来来达到抽真空的目的。在高真空低温泵的启动的过程中，前级机械泵会先将管道处在一个真空的状态中，当管道的真空度达到一定的程度的时候，仟吉阀就会打开，这样前级机械泵会继续工作，使得管道和低温泵都有一个真空的状态，然后就是前级阀在重复上面的步骤。
电子束的蒸发源主要是由电子枪和坩埚两部分组成，必要的时候可能会附带一套可以给镀膜机提供原材料的机械设备。在大多数的情况中，在镀膜机中会将产生以及控制电子束的控制装置和坩埚的设计组成一个整体。以下是电子束加热蒸发源的几种表现的结构形式;
①采用直线阴极和静电聚焦方式加热的蒸发器。
②采用环状阴极和静电聚焦方式加热的蒸发器。
③采用轴向枪和静电远聚焦方式加热的蒸发器。
④采用轴向枪、磁聚焦和磁偏转90度方式加热的蒸发器。
⑤e型电子枪蒸发器，电子束蒸发镀膜机e型电子束蒸发源所发射的电子轨迹与"e"字相似，故简称e型枪。
目前这种形式的蒸发源在真空蒸镀膜工艺中应用最为广泛。
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