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卷绕真空镀膜机高频感应蒸发源蒸镀法介绍
2022-01-12
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卷绕真空镀膜机镀膜技术有电阻蒸发镀膜技术，感应蒸发镀膜技术，中频磁控溅射技术以及直流磁控溅射镀膜技术。高频感应蒸发镀膜技术，一般都是镀金银丝线，因为不能有大液滴等原因。
高频感应蒸发源的优点，蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右，蒸发源的温度均匀稳定，不易产生飞溅现象，蒸发材料是金属时，蒸发材料可产生热量，蒸发源一次装料，无需送料机构，温度控制比较容易，操作比较简单。
卷绕真空镀膜机高频感应蒸发源缺点是，必须采用抗热震性好，高温化学性能稳定的氮化硼坩锅，蒸发装置必须屏蔽，并需要较复杂和昂贵的高频发生器，线圈附近的压强是有定值的，超过这个定值，高频场就会使残余气体电离，使功耗增大。
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