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蒸发真空镀膜机及物理原理介绍
2022-05-09
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蒸发真空镀膜机主要由真空室和抽真空系统组成，真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、电源，蒸发舟、电极棒等。真空系统，有粗抽、中抽、精抽等，分别有机械泵、罗茨泵、扩散泵或分子泵。
为了提高蒸发分子与基片的附着力，可以对基片进行适当的加热或离子清洗使其活化。真空蒸发镀膜从物料蒸发、运输到沉积成膜，经历的物理过程如下:
(1)利用各种方式将其他形式的能量转换成热能，加热膜材使之蒸发或升华，成为具有一定能量(0.1~0.3ev)的气态粒子(原子、分子或原子团):
(2)气态粒子离开膜材表面，以相当的运动速度基本上无碰撞的直线输运到基片表面;
(3)到达基片表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜;
(4)组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合。
日常真空镀膜机采用蒸发技术进行镀膜的有铝、氟化镁、金、银等等，因为他们有熔点低优点，便于快速蒸发升华。
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