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高精密多腔磁控溅射光学镀膜机
2022-06-14
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高精密多腔磁控溅射光学镀膜机， 具备rf-icp辅助磁控溅射后氧化模式，具有高沉积速率且光学性能匹配的特点。适用于车载盖板玻璃和3c产品前盖玻璃沉积ar膜，其中ar膜可为普通sio2 nb2o5膜系，也可为硬质sio2 si3n4膜系。同时也适用于3c产品后盖颜色膜（含渐变色膜）、ncvm膜的加工。
可利用时间精准控制薄膜厚度，达到设计工艺要求，节省晶控，光控环节，为客户省去大量的膜厚仪耗材；可生产高折射率氮化薄膜，提高薄膜硬度性能；低温成膜，可应对各种用途；自动调节气体流量专利装置，保持稳定的靶电压，保证成膜品质；可选“校正板外部调节机构”。
高精密多腔磁控溅射光学镀膜机具有出色的均匀性，可实现不同的材料或提高产量，集成式等离子体源，可提高涂层质量并进行基板预清洁，快速更换不同尺寸基板的工具，高目标利用率，不影响涂层规格，简单的目标交换和易于访问的系统维护。
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