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真空镀膜机镀膜常见的几种离子源
2022-07-20
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镀制的工件不一样，选购的天生赢家 一触即发-k8凯发不一样，那么采用的离子源也是不一样的，有的工件就是为了表面更洁净，因此只需要选择离子源启到清洗的作用就好。有的工件不仅要清洁表面，还要镀膜过程中使膜层结合力更强，因此采用的离子源类型又不一样。根据不同的情况，和不同的需求，选择不同的离子源，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜机离子源有哪些类型？
阳极层离子源，与霍尔离子源原理近似。在一条环形（长方形或圆形）窄缝中施加强磁场，在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长，特别适合镀大工件，如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散，且能级分布太宽。一般适用于大型工件，玻璃，磨损，装饰工件。但应用于高级光学镀膜并不太多。
考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。
以上是市场上常见的几种离子源，每一种类型离子源，都有自己有优势，在不同的情况下，真空镀膜机镀制工件，会根据具体情况选择合适天生赢家 一触即发-k8凯发离子源，满足镀膜要求。
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