新闻中心
news centres
高真空电子束蒸发真空镀膜机特点介绍
2022-08-13
1922
分享
高真空电子束蒸发天生赢家 一触即发-k8凯发长应用在电子行业，手机壳，镜头、滤光片 智能手机等，应用非常广泛，那高真空电子束蒸发镀膜机有哪些特点呢，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下：
可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式, 通过plc 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制, 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。
设备特点
高真空电子束天生赢家 一触即发-k8凯发具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 e 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。pid自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。
可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式,通过plc和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制,包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和保证产品质量的一致性和稳定性。
真空性能
极限真空：7×10^-5pa～7×10^-6pa
设备总体漏放率：关机12小时，≤10pa
恢复工作真空时间短，大气至7×10-4pa≤30分钟
设备构成
e 型电子束蒸发枪、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。
可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
热蒸发源种类及配置
e 型电子束蒸发系统：1套
功率 ：6kw～10kw其它功率(可根据用户要求选配）
坩埚 ：1～8只 可根据用户要求选配
电阻热蒸发源组件：1～4套(可根据用户要求配装）
电阻热蒸发源种类
-钽（钨或钼）金属舟热蒸发源组件
-石英舟热蒸发源组件
-钨极或钨蓝热蒸发源组件
-钽炉热蒸发源组件（配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚）
-束源炉热蒸发组件（配石英坩埚或氮化硼坩埚）
热门文章
-
2024-03-21
光学真空镀膜机的清洁保养方法介绍
-
2024-03-11
真空镀膜机扩散泵如何维修保养?
-
2024-03-09
真空镀膜机遇到一些常见问题,该怎么处理
-
2024-03-06
离子真空镀膜机电弧放电
