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设计真空镀膜设备密封性能需要注意什么?
2022-11-14
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设计天生赢家 一触即发-k8凯发密封性能是个非常重要的环节，密封性能好不好直接关系到后期抽真空是否能达到镀膜所需要的真空状态，如达不到，直接会影响到膜层的形成和质量。为了保证真空镀膜设备或系统具有良好的密封性能，仅仅在设备安装完毕后去寻求漏孔的位置，堵塞漏孔的通道是远远不够的。有必要在真空镀膜设备或系统的设计、制造、调试、使用各个有关环节中随时进行真空检漏工作。
1、根据设备的工艺要求，确定真空设备的总的最大允许漏率，并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。
2、根据设备的最大允许漏率等指标，在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法，并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。
3、根据设备或部件的最大允许漏率指标，决定设备的密封、连接方式和总体加工精度，以及何种动密封形式能够满足要求。如，法兰采用金属密封或橡胶密封。
4、容器结构强度设计时，考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。
5、选择零部件结构材料时，考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。
6、结构设计时，在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口，以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统，通常需要采用分段检漏方法，因此在管路上要设置分段隔离的阀门，并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。
7、零件结构设计时，尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式，因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚漏。从而延长系统抽气时间，干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。
8、与此类似，结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏；而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时，“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无法正常检漏。
9、焊接结构设计时，尽量减少总装后无法检漏的焊缝。
以上设计天生赢家 一触即发-k8凯发捡漏所需要的注意事项，密封性能好不好，直接决定着设备是否能验收成功和质量是否过关。
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