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真空镀膜设备扩散泵维修与保养
2022-12-05
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真空镀膜设备顾名思义是设备要在真空状态下运行工作，因此真空镀膜设备必须要配置真空镀膜系统，分别由扩散泵，分子泵，罗茨泵，机械泵，螺杆泵等组成，在运营过程中真空镀膜设备维护保养必不可少，扩散泵是真空镀膜设备其中一个重要的部件，因此扩散泵维护保养环节必少不了，下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜设备扩散泵维护和保养介绍，希望能帮助到大家：
2、扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4、扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
6、待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
7、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。
以上介绍只是扩散泵维护保养方法，扩散泵只是真空镀膜设备中一个部件，因此要想维护保养好真空镀膜设备，还必须每个部件都要考虑到位。
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