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光学真空镀膜机常见维修方法
2020-07-09
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常见光学真空镀膜机维修方法，对于镀膜工程师来说，是至关重要的。当光学真空镀膜机出现故障的时，能及时排查原因，及时解决问题，对于镀膜厂家来说，也是尤为重要。下面汇成真空小编为大家详细介绍一下真空镀膜机常见的故障及维修方法，希望能帮助到大家。
1、当正在镀膜时真空度突然下降：
（1）蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
（2）坩埚被打穿（更换坩埚）
（3）高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
（4）工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
（5）预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
（6）高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
（7）机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否正常）
（8）烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
（9）挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
(10)玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
1、当正在镀膜时真空度突然下降：
（1）蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）
（2）坩埚被打穿（更换坩埚）
（3）高压电极密封处被击穿（更换胶圈）
（4）工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
（5）预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
（6）高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
（7）机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否正常）
（8）烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）
（9）挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
(10)玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
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