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半导体及相关配套生产厂商、pvd镀膜加工企业
镀膜线k8凯发的解决方案
半导体及相关配套生产厂商、pvd镀膜加工企业
为企业提供pvd镀膜设备和镀膜工艺技术
针对半导体行业产品的特点和不断增长的客户需求,不断开发出多种设备技术和镀膜工艺
光掩膜是刻有微电路的高精度版,由表面纯平并带有一层铬的石英板或玻璃板制作而成,蚀刻后的残留铬部分即为设计的微电图。这种制版方式在掩膜行业称为光透。
光掩膜用于芯片制造,主要是ic(集成电路)芯片,还应用于制作纯平显示器、薄膜磁头以及pc板等。
光掩膜所起的作用类似于底片之于相片,光刻通过光掩膜在芯片上显影。如果图形通过掩膜版在芯片两面多次显影,这种方法就是熟称的曝光,这个时候的掩膜也可称为光罩。
在平整的玻璃板上镀上金属铬薄膜,通过类似照相制版的方法制备,其制作过程就是典型的光刻工艺过程,包括金属pvd沉积、涂胶、电子束光刻、显影、铬层腐蚀及去胶等过程。
铬版主要应用于:
tft-lcd、cf、cstn-lcd、stn-lcd、tn-lcd、el、oled、pdp、vfd等平板显示行业;
hdi、fpc等印制线路板行业;
ic bumping、ic基板、导线架等ic相关行业;
mens、sensor和enoder等精细电子元器件行业。
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