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怎么检查真空镀膜机真空系统是否有漏气?
2020-08-14
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检查真空镀膜机漏气，简称捡漏。日常真空镀膜机捡漏环节必不可少，通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生, 当抽气体系抽气后使真空室内压强降低,外部与内部的，压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,形成真空度降低。那么真空镀膜机，在检漏的过程中，需要留意哪些问题 ,才能把检漏作业做好？下面汇成真空小编为大家汇总了一些注意事项，希望能帮助到大家。
2、测验好真空室的气体密封功能,确保气密功能符合要求。
3、查看漏孔的巨细，形状、方位,漏气的速度,制备出可解决计划并实施。
4、断定检查仪器的最小可检漏率和检漏灵敏性,以最大规模的检查出漏气状况,防止一些漏孔被疏忽,进步检漏的准确性。
5、把握检漏仪器的反应时刻和消除时刻,把时刻把握好,确保检漏仪器作业到位,时刻少了,检漏作用肯定差,时刻长了,浪费检漏气体和人工电费。
6、还要防止漏孔阻塞,有时因为操作失误,检漏过程中, 一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了, 以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，那漏气仍是存在的。
第七，真空镀膜机测试漏气的方法
1）低真空时用火花检漏仪；
2）高真空时用真空检漏仪;
3）两种方法花费较高，最简单方法用针灌满乙醇向连接口处喷，观察真空计的指数，有变化则漏气
虽然在镀膜过程，真空镀膜机真空镀降低的缘由，有各种各样的原因，但是设备捡漏是必须要进行的环节，必不可少！
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