做为真空镀膜程序员,最基础的就是要掌握真空镀膜设备操作方法,虽然对深资程序员来说是轻车熟路,但是作为一个刚入行的新手了说,最先接触的就应该是要了解真空镀膜设备操作方法了,那么真空镀膜设备操作步骤,具体是怎样的呢?下面汇成真空小编为大家详细介绍一下:
真空镀膜设备操作程序具体操作时请参照该设备说明书,在这边介绍的,是真空镀膜设备大概的操作步骤了
真空镀膜设备操作步骤:
第一、检查真空镀膜设备各操作控制开关是否在"关"位置。
第二、打开总电源开关,设备送电。
第三、低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。
第四、安装固定钨螺旋加热子。把pvdf薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。
第五、落下钟罩。
第六、启动抽真空机械泵。
第七、开复合真空计电源(复合真空计型号:fzh-1a)。
a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110ma时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
第八、当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
第九、真空
镀膜设备开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。
第十、低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
等低真空表“2”内指针右移动至0.1pa时,开规管灯丝开关。
a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
旋转发射调节钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。
发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
旋转零点调节钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0位置。
发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
旋转标准调节钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。
旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件pvdf膜转动。
开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可插入任意一孔)。
右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压。