one axis magnetron sputtering coating equipment 单轴磁控溅射镀膜设备
通过将高产量与优异的涂层效果相结合,hcms-2000使工业能够满足“准时”制造的要求。hcms-2000是一种批次式溅射系统,能够处理大型基板的金属化,并提供多种镀膜工艺,包括彩色涂层、灰色调和等离子体增强系统。
旋转式前门设计,生产效率高
旋转式前门允许高生产率的加工和装卸顺序。基板可便捷加载到挂架或公自转转架
广泛应用的灵活溅射系统
用于金属高速沉积的磁控溅射沉积,以及用于沉积金属氮化物或金属氧化物层的反应磁控溅射。
先进的mf(中频)pecvd沉积源允许沉积透明的面漆和增强的耐擦拭层。
高效的抽油机易于操作
进一步的关键要素是高效真空泵系统,包括有效的冷冻盘管系统和灵活的工艺气体管理系统。
优势:
•低运营成本和最快的生产周期确保最高的工业标准和最具竞争力的成本,材料和能源消耗低
•根据客户的生产需求量身定制设计服务
•快速,灵活的生产周期以及灵活,多功能的生产系统,能够以市场上最快的周期运行,并配有自动控制系统,可消除人为错误
•所有操作阶段均由具有自动存档和备份功能的pc进行管理,该pc提供实时报告,系统和周期状态数据,在整个过程中通知和指导操作员
•将不同类型的过程组合在一起,集成到一个系统中,以满足从不断发展的市场开始或未来升级的未来需求
•等离子体处理可去除挥发性产品的表面材料,并可用于微清洁被有机化合物污染的表面