large electron beam optical coating equipment 大型电子束蒸发光学镀膜机
配备电子枪、穴型、腰型或环形坩埚，阻抗式蒸发源;配置光学膜厚控制仪或石英晶体膜厚控制仪，可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;可选射频rf/考夫曼型/霍尔型离子源。
该系列的开发是为了满足面向大规模生产的市场需求，设备经过生产验证，高生产率，最低的拥有成本大批量光学元件成本优化生产。可制备ar、uv/ir截止滤光片、af、硬质膜、装饰膜、ito膜 、带通滤光片、hr膜等。
ar 膜（基材玻璃透过率＞91.5%）：
■ 420-680nm波段，单面平均透过率＞95%，反射率小于0.5（平均值）% ；
■ 双面平均透过率＞98%，反射率小于0.5（平均值）%；
as/af膜测试标准：
■ 初始接触角范围为 115±5°；
■ 钢丝绒耐摩擦测试标准：用 0000#钢丝绒，面积为 10*10mm,行程 40 次/分，负载1kg，5000 次往返摩擦后，接触角大于 100°；
■ 橡皮擦测试标准： 直径 6mm 橡皮擦，行程 25 次/分，负载1kg， 2500 次往返摩擦后，接触角大于 100°；
备注：测试样片玻璃需为经过精密抛光过的触摸屏盖板专用玻璃，表面光洁。
优势：
•蒸镀ar / af涂层
•生产能力更强
•生产成本更低
•全自动化功能以及完整的数据记录功能
•光学监控提高过程的可重复性
