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功能涂层设备应用

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ta-c涂层

hcvac开发出具有自主知识产权的，适用于制备ta-c涂层电弧阴极模块，该设备可以沉积硬度超过40gpa的超硬ta-c涂层，可在hcsh系列标准设备上沉积ta-c涂层

recommended equipment.

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◇ hcsh-400

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